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橢圓偏振測厚儀型號:TP-TPY-1
更新時(shí)間:2019-04-15
產(chǎn)品型號:TP-TPY-1
描述:橢圓偏振測厚儀型號:TP-TPY-1

在近代的許多域中對各種薄膜的研究和應用日益廣泛。因此,更加和迅速的測定給定薄膜的光學(xué)參數已變得更加迫切和重要。在實(shí)際作中可以利用各種傳統的方法測定光學(xué)參數,如:布儒斯角法測介質(zhì)膜的折射率,干涉法測膜厚,其它測膜厚的方法還有稱(chēng)重法、X射線(xiàn)法、電容法、橢偏法等。

TP-TPY-1橢圓偏振測厚儀型號:TP-TPY-1的詳細資料:

橢圓偏振測厚儀型號:TP-TPY-1

在近代的許多域中對各種薄膜的研究和應用日益廣泛。因此,更加和迅速的測定給定薄膜的光學(xué)參數已變得更加迫切和重要。在實(shí)際作中可以利用各種傳統的方法測定光學(xué)參數,如:布儒斯角法測介質(zhì)膜的折射率,干涉法測膜厚,其它測膜厚的方法還有稱(chēng)重法、X射線(xiàn)法、電容法、橢偏法等。由于橢圓偏振法具有靈敏度、度、非破壞性測量等優(yōu)點(diǎn),因而,橢圓偏振法測量已在光學(xué)、半導體、生物、學(xué)等諸多域得到廣泛應用。

橢圓偏振測厚儀型號:TP-TPY-1

產(chǎn)品點(diǎn):

儀器采用消光法自動(dòng)測量薄膜厚度和折射率,具有度、靈敏度以及方便測量等點(diǎn);

光源采用氦氖激光器,率穩定、波長(cháng)度;

儀器配有生成表、查表以及計算等軟件,方便用戶(hù)使用。

規格與主要標:

測量范圍:薄膜厚度范圍:1nm-300nm;      折射率范圍:1-10

測量小示值:≤1nm                      入射光波長(cháng):632.8nm  

光學(xué)中心:80mm                         允許樣品尺寸:φ10-φ140mm,厚度≤16mm    

偏振器方位角范圍:0°- 180°讀取分辨率為0.05°

測量膜厚和折射率重復性度分別為:±1nm和±0.01

主機重量:25kg    入射角連續調節范圍:20°- 90°度為0.05°

成套性:主機、電控系統、計算軟件

外形尺寸:680*390*320mm

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